具體參數(shù):
精確度為±5um,±3um
工作電壓為5v±5%,100ma.
gx尺為增量式每隔50mm有一個(gè)零參考點(diǎn),分辨率為1um,
輸出信號為差動(dòng)ttl方波信號,信號周期4um