coilcraft
WBT1-6LSD
銅心電感線圈
單層式線圈
振蕩線圈
5000多家會員為您找貨報價,SO EASY!
1 前言
銅金屬化在高功率汽車應用領域的優勢是具備通態低電阻,并且具有可重復箝位魯棒性。然而,從可靠性角度而言,來自厚Cu層的應力是主要關注的問題。傳統應力監控方法是進行線內晶圓彎曲度測量。這種測量方法的缺點是只能反應特定時間點的應力情況,而且分辨率欠缺。由于相消效應,難以分析從拉伸到壓縮之間的累積性應力。憑借新的電路技術,我們能利用具備帶隙參考電壓和過壓功能的特別設計芯片,以電氣方式進行Cu薄膜層局部應力測量。
2 實驗
3個帶有帶隙參考電壓電路的特別設計晶圓(每晶圓1000個芯片)利用英飛凌BCD(雙極、CMOS和DMOS)技術進行處理。11μm厚Cu經電化學感光蝕刻形成頂部金屬層。晶圓上的局部薄膜利用Flex測試器在25℃下進行電氣測量,以獲得初始帶隙參考電壓和過壓值。晶圓在250℃的環境溫度下進行45分鐘的退火。在退火之后,在25℃的室溫下再次測量帶隙參考電壓和晶圓彎曲度。
OV7959-C48A (CLCC) |
OV7960-C48P |
OV7960-E62W |
OV7962-E62A |
OV7962-E62Y |
OV8610 |
OV8810-A67A |
OV9121 |
OV9630 |
OV9653-V28A |
OV9655-V28A |
OV9660 |
OV9665 |
OV9710-HDDV |
OV9712-V28A |
OV9715-V28A |
OV9715-F48Y |
OV9726-A40A |
OV9740-A46A |
OV9810-A70A |
OV14825-A16A |
OV4680 |
OVP2200 |
SOI268 / 2681 BW |
SOI268 / 2681 IR |
SOI763A |
SQ608-L |
SQ908-L |
3 結果和討論
晶圓利用E&H工具進行測量。在圖1和圖2的原始測量點處,源于公式(1)和(2)的MaxBowXY參數可說明Cu應力導致的晶圓彎曲度情況。在250℃退火后,由于Cu再結晶(參見圖3),晶圓彎曲度增加,出現拉伸應力。
le/image/2013/11/27/529563a4eb9d5.jpg" target="_blank" style="color: rgb(8, 90, 153); ">
電話:0755-83275717/13510424848
聯系人:朱炎斌 (先生)
QQ:
郵箱:anson-lee2001@163.com
地址:深圳市南山區科苑路清華信息港綜合樓923
100%產品查看率
會員等級
會員年限