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WBT1-6LSD

  • 品牌:

    coilcraft

  • 型號:

    WBT1-6LSD

  • 材料:

    銅心電感線圈

  • 電感線圈繞制方法:

    單層式線圈

  • 用途:

    振蕩線圈

發布詢價信息

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產品信息

銅金屬化不僅用于低功率邏輯電路,而且用于高功率汽車應用,因為其具有低電阻和可重復箝位魯棒性。如何確定銅(Cu)應力是BEOL集成方案中的關鍵問題。在本文中,我們設計了一個具有帶隙參考電壓和過壓功能的電路,能通過電氣測量,確定Cu應力和線內晶圓彎曲度之間的關系。


1 前言


銅金屬化在高功率汽車應用領域的優勢是具備通態低電阻,并且具有可重復箝位魯棒性。然而,從可靠性角度而言,來自厚Cu層的應力是主要關注的問題。傳統應力監控方法是進行線內晶圓彎曲度測量。這種測量方法的缺點是只能反應特定時間點的應力情況,而且分辨率欠缺。由于相消效應,難以分析從拉伸到壓縮之間的累積性應力。憑借新的電路技術,我們能利用具備帶隙參考電壓和過壓功能的特別設計芯片,以電氣方式進行Cu薄膜層局部應力測量。


2 實驗


3個帶有帶隙參考電壓電路的特別設計晶圓(每晶圓1000個芯片)利用英飛凌BCD(雙極、CMOS和DMOS)技術進行處理。11μm厚Cu經電化學感光蝕刻形成頂部金屬層。晶圓上的局部薄膜利用Flex測試器在25℃下進行電氣測量,以獲得初始帶隙參考電壓和過壓值。晶圓在250℃的環境溫度下進行45分鐘的退火。在退火之后,在25℃的室溫下再次測量帶隙參考電壓和晶圓彎曲度。

OV7959-C48A (CLCC)
OV7960-C48P
OV7960-E62W
OV7962-E62A
OV7962-E62Y
OV8610
OV8810-A67A
OV9121
OV9630
OV9653-V28A
OV9655-V28A
OV9660
OV9665
OV9710-HDDV
OV9712-V28A
OV9715-V28A
OV9715-F48Y
OV9726-A40A
OV9740-A46A
OV9810-A70A
OV14825-A16A
OV4680
OVP2200
SOI268 / 2681 BW
SOI268 / 2681 IR
SOI763A
SQ608-L
SQ908-L
測量的兩個參數是帶隙參考電壓(V_REF)和過壓值(OverVoltage)。主要來自雙極晶體管的帶隙參考電壓是一個對測試溫度和應力敏感的參數,但能很好耐受工藝變動。OverVoltage是一個了解芯片過壓閾值能力的參數,主要來自CMOS和雙極晶體管。


3 結果和討論


晶圓利用E&H工具進行測量。在圖1和圖2的原始測量點處,源于公式(1)和(2)的MaxBowXY參數可說明Cu應力導致的晶圓彎曲度情況。在250℃退火后,由于Cu再結晶(參見圖3),晶圓彎曲度增加,出現拉伸應力。

 

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公司介紹

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